成都超纯应用材料有限责任公司(UPAM)成立于2005年,位于中国成都双流航空港开发区,研发及厂房超过一万平方米,是一家以技术为先导的半导体刻蚀器件,高功率激光器件和特种陶瓷的国家高新技术制造企业。成都超纯具有自主知识产权,开发了多类高技术,包括先进表面处理技术,可为半导体刻蚀器件和MOCVD器件提供专业的表面处理服务;UPMS 先进提纯技术,可将材料的纯度提纯到5N以上;UPHP 先进陶瓷生产技术, 制造高密度碳化物和氮化物陶瓷; 同时公司针对不同基底材料开发了一整套超光滑表面处理技术UPUS 来控制表面疵病,提高器件的使用寿命。
在研发实验的过程中,前期准备、后期清洗和实验结果的准确需要超纯水来支持,于是成都超纯应用材料有限责任公司联系到我司四川zhuo越水处理设备有限公司(新公司四川卓水越医疗科技有限公司),咨询超纯水设备相关问题。
中国电子级超纯水水质标准
表 1 电子级水的技术指标GB/T11446. 1— 2013
项 目 | 技术指标 |
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
电阻率(25℃)/MΩ · cm | ≥18 (5%时间不低于 17) | ≥15 (5%时间不低于 13) | ≥12. 0 | ≥0. 5 |
全硅/(μg/L) | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 |
微粒数/ (个/L) | 0. 05μm~0. 1 μm | 500 | — | — | — |
0. 1 μm~0. 2 μm | 300 | — | — | — |
0. 2 μm~0. 3 μm | 50 | — | — | — |
0. 3 μm~0. 5 μm | 20 | — | — | — |
> 0. 5 μm | 4 | — | — | — |
细菌个数/(个/mL) | ≤0. 01 | ≤0. 1 | ≤10 | ≤100 |
铜/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 |
锌/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 |
镍/(μg/L) | ≤0. 1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 |
钠/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 |
钾/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 |
铁/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — |
铅/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — |
氟/(μg/L) | ≤1 | — | — | — |
氯/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 |
亚硝酸根/(μg/L) | ≤1 | — | — | — |
溴/(μg/L) | ≤1 | — | — | — |
硝酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 |
磷酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 |
硫酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 |
总有机碳/(μg/L) | ≤20 | ≤100 | ≤200 | ≤1000 |
采购产品
在四川卓水越水处理设备有限公司销售、技术等同事全面的沟通后,向其推荐了型号为ZYUP-E-500L的超纯水设备,根据测试,*实验室用水需求。五月初,工程师上门对机器进行了安装调试,并对使用负责人讲解了产品相关性能和使用教学。四川卓水越EDI超纯水设备介绍
一、四川卓水越EDI超纯水设备特点
1、不需要酸碱再生,电除盐的操作是安全的,废水的处理变得简单了。
2、可连续生产,电除盐的生产是连续的,免除了使用混床过程中复杂的再生操作,减少了很多备用设备。
3、不需要处理废酸碱,没有废酸碱的中和排放处理系统。电除盐的浓水可以直接排放或返回到RO的进口。
4、安装条件简单,电除盐在安装时,占地面积小,厂房都能满足,对于较低的厂房,可通过对电除盐模块的水平配置解决。
5、系统设计简单,电除盐的模块设计很容易把它的流量做到450吨/小时甚至更高。
6、运行成本低,电除盐系统与各种混床相比,在价格上有竞争性。
7、实用的设计,对于电除盐系统,不管是维修还是增减设备的容量都是很容易的。必须要更换膜堆时,在现场只要花极少的停机时间就可以完成。
8、安装维修简便,电除盐装置允许通过对其他膜堆的流量重新分配而达到对某一个膜堆维修的要求,不改变系统的性能。
9、水质稳定,电除盐的出水质量稳定有把握。不会有普通混床那样的水质变化。
10、标准设计:利用标准单元,如同搭积木般的组合 可以满足用户不同产水量的需要。
二、EDI超纯水设备工艺流程
加药系统
↓
预处理系统→反渗透系统→脱气系统→EDI系统→供水系统
三、EDI超纯水设备工艺说明
※ 预处理系统由原水箱、原水泵、机械过滤器、活性碳过滤器、软化器、保安过滤器或原水箱、原 水泵、机械过滤器、保安过滤器、超滤组成;
※ 反渗透系统由高压泵、反渗透膜组件及膜壳组成,分为一级和二级;
※ 脱气系统由脱气膜、自吸泵组成;
※ ED系统由中间水箱、淡水泵、EDI膜块、直流电源组成;
※ 加药系统由ST絮凝剂或阻垢剂、PH调节剂组成;
※供水系统由纯水箱、供水泵组成。
EDI是一种将电渗析和离子交换相互结合在一起的除盐新工艺,该工艺过程取电渗析和离子交换两者之长,弥补对方之短,即利用离子交换能深度脱盐来克服电渗析极化而脱盐不*,又利用电渗析极化而发生水电离产生H+和OH-离子实现树脂自再生来克服树脂失效后通过化学药剂再生的缺陷,因而EDI技术是一种好的除盐工艺。
四、EDI 超纯水设备进水要求:
项 目 | 技 术 要 求 |
给 水 | RO产水, 电导率≤20μs/cm ( 建议<10μs/cm ) |
PH值 | 6.0 ~ 9.0 ( 建议7.0 ~ 9.0 ) |
水 温 | 5 ~ 35℃ |
硬 度(以CaCO3计) | < 0.5 ppm |
有机物 | < 0.5 ppm ,TOC建议值为零 |
氧化物 | ≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),两者为零* |
Fe 、Mn | ≤0.01 ppm |
二氧化硅 | < 0.5 ppm |
二氧化碳 | < 5 ppm |
油和油脂 | 检不出 |
油和油脂 检不出
超纯水系统设备主要应用领域为
医药、电子电力、石油化工冶炼、食品等行业
EDI技术特点:
★可连续生产,产水电阻率高≥ 15 MΩ.cm
★产水率可以高达95%
★产水水质稳定。不需要配酸碱再生
★无污水产生。
★ 系统控制自动化程度高,操作简单,劳动强度低。